|
|||
Comanda instant - ECHIPAMENT DEPUNERE FILME SUBTIRI SPIN COATER
|
|||
ECHIPAMENT DEPUNERE FILME SUBTIRI SPIN COATER |
|||
Echipament depunere filme subțiriprin tehnica spin coater Echipament depunere filme subțiriprin tehnica spin coater Material carcasă : NPP ( polipropilena naturala ) Material cameră procesare : NPP si PTFE Interfață detașabila de tip touch screen ( de tip "full size” ) , rezistent chimic, IP 52 Dimensiune substrat : tip rotund până la cel puțin 250 mm sau mai mult sau tip pătrat minim 5.8x5.8 inch sau mai mult Diametru camera procesare : minim 300 mm Capacitate : 8 wafere Preconfigurat cu suport duza pentru purjare azot Programabil : rotații în ambele sensuri Viteza de rotație : 0-12000 rpm cu o acuratețe ± 0,1 rpm Precizie viteza de rotație : 1 rpm Accelerare si decelerare : 1-30.000 rpm/sec, programabil în pași de 1 rpm Numar de programe : nelimitat Numar de segmente : nelimitat Port USB Set 25 de vase cu capac din PET , grosimi 0,5 mm, transparent și antistatic ( 108-1010 Ω ) Pompa vacuum fără ulei Membrana PTFE 10 lpm Vacuum 100 mbar Dimensiuni : înălțime 300-310 mm, lungime 370-400 mm, adâncime : 550-580 mm |
|||